发明名称 |
IMMERSION PYROMETER WITH PROTECTIVE STRUCTURE FOR SIDEWALL USE |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2193376(A) |
申请公布日期 |
1988.02.03 |
申请号 |
GB19870002737 |
申请日期 |
1987.02.06 |
申请人 |
* SYSTEM PLANNING CORPORATION |
发明人 |
DAVID C * GREENSPAN |
分类号 |
G01K1/08;G01K1/10;(IPC1-7):G01K7/00;H01L37/00 |
主分类号 |
G01K1/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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