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发明名称
VORRICHTUNG ZUM FIXIEREN VON MASKE UND HALBLEITERSCHEIBE
摘要
申请公布号
DD208012(B1)
申请公布日期
1988.02.03
申请号
DD19810233972
申请日期
1981.10.09
申请人
VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DD
发明人
NEPPE,HANS,DD;KOCH,KURT,DD;WESTPHAL,PETER,DD
分类号
G03F7/20;G03F7/22;G03F7/26;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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