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发明名称 COATING APPLICATOR OF PHOTORESIST
摘要
申请公布号 JPS6324621(A) 申请公布日期 1988.02.02
申请号 JP19860168618 申请日期 1986.07.16
申请人 NEC CORP 发明人 NAKATSUKA MASAHIKO
分类号 B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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