发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6324641(A) |
申请公布日期 |
1988.02.02 |
申请号 |
JP19860168407 |
申请日期 |
1986.07.17 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
HATA MASAYUKI;NAKAGAWA HIROMASA |
分类号 |
H01L27/08;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L27/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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