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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6324668(A) 申请公布日期 1988.02.02
申请号 JP19860168657 申请日期 1986.07.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUKAMOTO KATSUHIRO;SHIMIZU MASAHIRO;OSAKI AKIHIKO;OKAMOTO TATSURO
分类号 H01L29/41;H01L21/28;H01L21/60;H01L29/43 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
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