| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR GROWTH OF ORGANOMETALLIC COMPOUND |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6325294(A) |
申请公布日期 |
1988.02.02 |
| 申请号 |
JP19860167322 |
申请日期 |
1986.07.16 |
| 申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
UNNO TSUNEHIRO;SAKAGUCHI HARUNORI |
| 分类号 |
H01L21/205;C01B3/52;C23C16/18;C23C16/44;C30B25/02 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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