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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6324643(A) 申请公布日期 1988.02.02
申请号 JP19860166685 申请日期 1986.07.17
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 IKEYAMA KAZUTAKA;HASHIMOTO TAKASHI
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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