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发明名称 DEFECT INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6324146(A) 申请公布日期 1988.02.01
申请号 JP19860077744 申请日期 1986.04.04
申请人 OMRON TATEISI ELECTRONICS CO 发明人 OGINO KENJI
分类号 G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;G01N21/93;H04N7/18 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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