| 发明名称 |
MEASURING METHOD FOR SURFACE TEMPERATURE OF BASE MATERIAL IN PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6324133(A) |
申请公布日期 |
1988.02.01 |
| 申请号 |
JP19860161050 |
申请日期 |
1986.07.09 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
TOBIOKA MASAAKI;IKEGAYA AKIHIKO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/27;C23C16/52;G01J5/00 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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