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发明名称 ANNEALING DEVICE BY LIGHT BEAM
摘要
申请公布号 JPS6323312(A) 申请公布日期 1988.01.30
申请号 JP19860058043 申请日期 1986.03.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HASEGAWA MICHIHIKO
分类号 H01L21/20;H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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