发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6323325(A) 申请公布日期 1988.01.30
申请号 JP19860167062 申请日期 1986.07.16
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KITAMURA YUJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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