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发明名称 DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6323324(A) 申请公布日期 1988.01.30
申请号 JP19860168576 申请日期 1986.07.16
申请人 SHARP CORP 发明人 KAWABATA RYOHEI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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