发明名称 FABRICATING INTERCONNECT LAYERS ON AN INTEGRATED CIRCUIT¹CHIP
摘要
申请公布号 IE872047(L) 申请公布日期 1988.01.29
申请号 IE19870002047 申请日期 1987.07.28
申请人 DIGITAL EQUIPMENT CORP 发明人
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址