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发明名称 METHOD FOR PROVIDING A METAL-SEMICONDUCTOR CONTACT
摘要
申请公布号 AU7694487(A) 申请公布日期 1988.01.29
申请号 AU19870076944 申请日期 1987.06.26
申请人 DIGITAL EQUIPMENT CORP., 发明人 ADAM SHEPELA
分类号 H01L21/027;H01L21/60 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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