SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT,申请号JP19860167188-传众专利搜索

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发明名称	SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPS6321836(A)	申请公布日期	1988.01.29
申请号	JP19860167188	申请日期	1986.07.15
申请人	ROHM CO LTD	发明人	MIYAKE YOSHIKATSU
分类号	H01L21/31	主分类号	H01L21/31
代理机构		代理人
主权项
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