| 发明名称 |
ELECTRON BEAM PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6321734(A) |
申请公布日期 |
1988.01.29 |
| 申请号 |
JP19860164564 |
申请日期 |
1986.07.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MURAKAMI EISHIN;MARUYAMA TOSHIRO;YASUNAGA MASASHI |
| 分类号 |
B23K15/00;B23K15/02;H01J37/06;H01J37/248 |
主分类号 |
B23K15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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