发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6320465(A) 申请公布日期 1988.01.28
申请号 JP19860163671 申请日期 1986.07.14
申请人 NIPPON KOKAN KK <NKK> 发明人 FUJIOKA TADASHI;KANEKO FUMITAKA;SAKURAI TSUTOMU
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
地址