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发明名称 EINRICHTUNG ZUM BEARBEITEN VON HALBLEITERPLAETTCHEN
摘要
申请公布号 DE3722080(A1) 申请公布日期 1988.01.28
申请号 DE19873722080 申请日期 1987.07.03
申请人 CANON K.K. 发明人 IWATA,YOSHIKI
分类号 G03F7/00;G03F7/16;H01L21/00;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/31;H01L21/324;B05C5/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
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