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发明名称 ENTWICKLERLOESUNG FUER POSITIV-ARBEITENDE FOTORESISTZUSAMMENSETZUNGEN
摘要
申请公布号 DE3723429(A1) 申请公布日期 1988.01.28
申请号 DE19873723429 申请日期 1987.07.15
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO.,LTD. 发明人 TANAKA,HATSUYUKI;SATO,YOSHIYUKI;KOHARA,HIDEKATSU;NAKAYAMA,TOSHIMASA
分类号 G03C1/72;G03F7/00;G03F7/30;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/10;G03C5/24;G03F7/08 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
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