| 发明名称 |
PLASMA STICKING DEVICE WITH PLASMA MONITOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6320484(A) |
申请公布日期 |
1988.01.28 |
| 申请号 |
JP19860166239 |
申请日期 |
1986.07.14 |
| 申请人 |
SHIMADZU CORP |
发明人 |
OKADA SHIGENOBU;HAYAKAWA MORIE |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/52;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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