发明名称 PATTERN TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6320827(A) 申请公布日期 1988.01.28
申请号 JP19860166016 申请日期 1986.07.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SATO TAKASHI;HORIIKE YASUHIRO
分类号 H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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