| 发明名称 |
METHOD FOR PRECISELY CONTROLLING DIAMETER OF SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6321281(A) |
申请公布日期 |
1988.01.28 |
| 申请号 |
JP19860162119 |
申请日期 |
1986.07.11 |
| 申请人 |
MITSUI MINING & SMELTING CO LTD |
发明人 |
MORITA SHIGERU;SHIMIZU HAJIME |
| 分类号 |
C30B15/28;H01L21/18;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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