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发明名称 CHEMICAL ETCHING OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6320835(A) 申请公布日期 1988.01.28
申请号 JP19860166018 申请日期 1986.07.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 WATANABE YUKIO;ISHIKAWA MASAYUKI;HATAGOSHI GENICHI
分类号 H01L21/306;H01L21/308 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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