发明名称 VAPOR DEPOSITION APPARATUS FOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6320820(A) 申请公布日期 1988.01.28
申请号 JP19860164561 申请日期 1986.07.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KAWAGOE YASUYUKI;YAMANISHI KENICHIRO;YASUNAGA MASASHI
分类号 H01L21/203;H01L21/26 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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