发明名称 PHYSICAL VAPOR DEPOSITION EQUIPMENT FOR METALLIC STRIP
摘要
申请公布号 JPS6320452(A) 申请公布日期 1988.01.28
申请号 JP19860163535 申请日期 1986.07.14
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 NAKAHARA HISANAO;TAKAHASHI NORIO
分类号 C23C14/24;C23C14/54 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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