发明名称 SHAPING SILICON SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 GB8728879(D0) 申请公布日期 1988.01.27
申请号 GB19870028879 申请日期 1987.12.10
申请人 WESTINGHOUSE BRAKE & SIGNAL CO LTD 发明人
分类号 B28D5/00;B28D5/04;G02B3/08;H01L21/304 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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