Position-measuring device.

摘要

Bei einer Positionsmeßeinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte (01, 02) wird eine Teilung (Ta) in einer Teilungsfläche (TFa) eines mit dem einen Objekt (01) verbundenen Teilungsträgers (TTa) von einer Abtasteinheit (A) abgetastet, die mit dem anderen Objekt (02) über einen Mitnehmer (MT) verbunden ist. Zwischen dem Mitnehmer (MT) und der Abtasteinheit (A) ist eine gelenkige Kupplung (K) in Form einer in Meßrichtung X angeordneten Blattfeder vorgesehen, die nur einen rotatorischen Freiheitsgrad senkrecht zur Teilungsfläche (TFa) des Teilungsträgers (TTa) besitzt. Eine Führungseinrichtung (F) weist ein Führungselement (FE) zur Führung der Abtasteinheit (A) parallel zur Meßrichtung X an einer zur Teilungsfläche (TFa) des Teilungsträgers (TTa) senkrechten Führungsfläche (FFa) des Teilungsträgers (TTa) auf. Ein Führungsgelenk (FG) der Führungseinrichtung (F) zur Verbindung der Abtasteinheit (A) mit dem Führungselement (FE) besitzt wenigstens einen translatorischen Freiheitsgrad senkrecht zur Meßrichtung X.