| 发明名称 |
METHOD OF EVALUATING PATTERN OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6319831(A) |
申请公布日期 |
1988.01.27 |
| 申请号 |
JP19860163811 |
申请日期 |
1986.07.14 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OTSUKI HIROAKI;SAKAMOTO AKIHIRO;TAMURA HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B7/28;G01B21/20 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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