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发明名称 THERMO-MECHANICAL OVERLAY SIGNATURE TUNING FOR PHOTOLITHOGRAPHIC MASK ALIGNER
摘要
申请公布号 EP0145902(B1) 申请公布日期 1988.01.27
申请号 EP19840112873 申请日期 1984.10.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 YAU, DAVID WAI TAI;MODAVIS, ROBERT ADAM
分类号 H01L21/30;G02B5/10;G02B7/18;G02B7/198;G02B17/00;G02B17/06;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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