| 发明名称 |
METHOD OF FORMING ULTRAFINE PATTERNS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0171068(A3) |
申请公布日期 |
1988.01.27 |
| 申请号 |
EP19850109890 |
申请日期 |
1985.08.06 |
| 申请人 |
RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION OF JAPAN;UMEMURA, SHIZUO |
发明人 |
UMEMURA, SHIZUO |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C16/04;G03F7/004;G03F7/20;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):G03F7/20;C23C16/48;G03F7/10 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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