| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING THIN CONDUCTING LINES BY ION IMPLANTATION AND PREFERENTIAL ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2159327(B) |
申请公布日期 |
1988.01.27 |
| 申请号 |
GB19850010718 |
申请日期 |
1985.04.26 |
| 申请人 |
* HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
DAVID B * RENSCH;JOHN Y * CHEN |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/3213;H01L21/3215;H01L21/336;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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