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发明名称 Chemical vapour deposition
摘要
申请公布号 GB2192901(A) 申请公布日期 1988.01.27
申请号 GB19860016989 申请日期 1986.07.11
申请人 UNVALA LTD 发明人 UNVALA BHIKHU A
分类号 H01L21/205;C23C14/22;C23C16/448;C30B25/02;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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