| 发明名称 |
PRODUCTION OF GALLIUM ARSENIDE SINGLE CRYSTAL AND QUARTZ REACTION TUBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6317288(A) |
申请公布日期 |
1988.01.25 |
| 申请号 |
JP19860157678 |
申请日期 |
1986.07.03 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
INOUE TETSUYA;SHIMODA TAKASHI |
| 分类号 |
C30B11/00;C30B11/06;C30B29/42;H01L21/18;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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