发明名称 APPLYING METHOD OF RESIST
摘要
申请公布号 JPS6317527(A) 申请公布日期 1988.01.25
申请号 JP19860161604 申请日期 1986.07.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MATSUOKA YASUO;YAMAMOTO NOBORU
分类号 B05D1/40;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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