发明名称 MANUFACTURE OF SILICIDE GATE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6316671(A) 申请公布日期 1988.01.23
申请号 JP19860161109 申请日期 1986.07.08
申请人 NEC CORP 发明人 KAWACHI TOSHIHIKO
分类号 H01L29/43;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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