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发明名称
CONTROL OF SEMICONDUCTOR DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号
JPS6316618(A)
申请公布日期
1988.01.23
申请号
JP19860160492
申请日期
1986.07.08
申请人
YOKOGAWA ELECTRIC CORP
发明人
ATOBE ATSUO;ISHIBASHI MASAHIRO;GOTO SHIGEMI;INABA HIDEMI
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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