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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6310554(U)	申请公布日期	1988.01.23
申请号	JP19860104379U	申请日期	1986.07.07
申请人		发明人
分类号	H01L21/67;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68	主分类号	H01L21/67
代理机构		代理人
主权项
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