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发明名称 TOOL CLEANING MECHANISM FOR BONDER
摘要
申请公布号 JPS6316956(A) 申请公布日期 1988.01.23
申请号 JP19860158839 申请日期 1986.07.08
申请人 SHINKAWA LTD;UNION KOGAKU KK 发明人 SUZUKI YASUNOBU;ISHIDA HISAO;NISHIMURA AKIHIRO;YAMAGUCHI HIROSHI;AWAMURA NAOKI
分类号 B23Q11/00;B24B7/16;H01L21/60;H04Q9/00 主分类号 B23Q11/00
代理机构 代理人
主权项
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