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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6315418(A) 申请公布日期 1988.01.22
申请号 JP19860160264 申请日期 1986.07.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KASHIWAGI SHIGEO;SHIRAI KAZUNARI
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/768 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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