| 发明名称 |
METHOD FOR SELECTIVE GROWTH OF THIN METALLIC FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6314870(A) |
申请公布日期 |
1988.01.22 |
| 申请号 |
JP19860156036 |
申请日期 |
1986.07.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NISHITANI EISUKE;TSUJIKU SUSUMU;NAKATANI MITSUO;MAEHARA MASAAKI;HORIUCHI MITSUAKI;MIZUKAMI KOICHIRO |
| 分类号 |
H01L21/285;C23C16/04;C23C16/08;C23C16/48 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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