发明名称 SELECTIVE OXIDIZATION AND ISOLATION
摘要
申请公布号 JPS6315439(A) 申请公布日期 1988.01.22
申请号 JP19860159258 申请日期 1986.07.07
申请人 SEIKO INSTR & ELECTRONICS LTD 发明人 KUDO NOBORU
分类号 H01L21/316;H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
地址