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发明名称
摘要
申请公布号 JPS632920(B2) 申请公布日期 1988.01.21
申请号 JP19800085336 申请日期 1980.06.24
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJII TOSHIO
分类号 C30B23/08;C30B23/02;H01L21/02;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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