发明名称 INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6314445(A) 申请公布日期 1988.01.21
申请号 JP19860158254 申请日期 1986.07.04
申请人 NEC CORP 发明人 ITO JUN
分类号 H01L21/66;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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