发明名称 PROCESS FOR MAKING A SEMICONDUCTOR STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0178418(A3) 申请公布日期 1988.01.20
申请号 EP19850110384 申请日期 1985.08.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HORR, ROBERT ARTHUR;MOHLER, RICK LAWRENCE
分类号 H01L21/033;H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/00 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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