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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON POLYMERER-ISOLATOR-SCHICHTSYSTEMEN
摘要
申请公布号
DD253514(A1)
申请公布日期
1988.01.20
申请号
DD19860295420
申请日期
1986.10.21
申请人
VEB WERK F. FERNSEHELEKTRONIK,DD
发明人
MIENTUS,RAINALD,DD;KRIEGEL,BERND,DD;LOESCHCKE,KLAUS,DD
分类号
C23C14/02;H01L21/306;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312
主分类号
C23C14/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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