| 发明名称 |
PATTERN WORKING OF CONDUCTING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6313095(A) |
申请公布日期 |
1988.01.20 |
| 申请号 |
JP19860156939 |
申请日期 |
1986.07.03 |
| 申请人 |
DAICEL CHEM IND LTD |
发明人 |
USHIDA HIROAKI;SUGATA MASAYUKI;TAKAHARA ATSUSHI |
| 分类号 |
G09F9/00;G02F1/133;G02F1/1343;G09F9/30;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/06 |
主分类号 |
G09F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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