LOW TEMPERATURE PLASMA TREATMENT APPARATUS,申请号JP19860156731-传众专利搜索

发明名称	LOW TEMPERATURE PLASMA TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号	JPS6312751(A)	申请公布日期	1988.01.20
申请号	JP19860156731	申请日期	1986.07.02
申请人	UNITIKA LTD;SANDO IRON WORKS CO LTD	发明人	TANAKA ITSUO;TAKAHASHI MASAKATSU
分类号	D06B19/00;D06M10/00	主分类号	D06B19/00
代理机构		代理人
主权项
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