具有改进的图象制作性能的光接收元件

摘要

电子摄影用的改进的光接收元件至少具有由A—Si(H，X)系列材料构成的光电导层和由A—Si(C，O，N)(H，X)构成的表面层。其特征在于，在表面层中所含原子(C，O，N)的浓度，从表面层与光电导层之间的界面位置起向着表面层的自由表面逐渐增大，同时在该界面处留下与表面层的折射系数和光电导层的折射系数之间的折射系数差(n)[Δn≦0.62]相对应的部分，而这在成像过程中可以忽略不计。

主权项

1、一种具有改进的图象制作功效的光接收元件，它在基底上按顺序至少形成有一层由含硅非晶材料形成的光电导层，以及一层表面层，该表面层由含硅原子、和从碳原子、氧原子和氮原子选出的一种或更多种原子、以及在必要时还含有氢原子或/和卤素原子，所述的从碳原子、氧原子和氮原子中选出的一种或更多种原子以一定分布状态包含在所述的表面层中，即从所述表面层和所述光电导层间交界面位置开始向着所述表面层的自由表面而逐渐增多，同时在该界面处留下一个与所述表面层折射率和所述光电导层折射率之间的折射率差(△n)相对应的部分，而这在图象制作过程中能忽略不计。