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发明名称 DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPS6313334(A) 申请公布日期 1988.01.20
申请号 JP19860156100 申请日期 1986.07.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUJIMOTO KAZUNORI;TAJI SHINICHI;OKUDAIRA SADAYUKI;NINOMIYA TAKESHI;SUZUKI KEIZO;NISHIMATSU SHIGERU
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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