发明名称 FORMATION OF SINGLE CRYSTAL THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6313322(A) 申请公布日期 1988.01.20
申请号 JP19860157121 申请日期 1986.07.03
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAO MASAO
分类号 H01L21/203;H01L21/26 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
地址